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| 材質:ジルコニア | 材質:アルミナ(99.6%) | 材質:石英ガラス |
| 外寸:70×14×5t [mm] | 外寸:80×22×10t [mm] | 外寸:φ70×6t [mm] |
| 精度:平行度・平面度1μm | 精度:6±10μm×3±5μm長穴 | 精度:25-φ1.0穴ピッチ±0.01 |
| 溝0.19ピッチ0.76±5μm | φ4.997貫通穴(φ5±3μm) | チッピングmax0.03 |
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