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セラミック製X-Yステージのご紹介

2009-12-29 (Tue) 18:34
超精密な位置制御技術を実現したセラミック製X-Yステージの販売を開始いたしました。半導体製造装置(ステッパー、ウエハー検査装置など)や精密測定機器(3次元測定器など)、産業用ロボットや小型精密工作機などに搭載可能です。詳細はお問い合わせ願います。
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