ガラス加工・セラミック加工のIPF

リニアモーションユニット（セラミック製X-Yステージ）

半導体製造・検査工程での、ナノスケールの超精密な位置制御技術
　・機能：精密な位置制御・繰り返し精度
　・特徴：ファインセラミック部品の採用により、超精密な位置決め精度と高耐久性を同時実現
　・性能：
　　　ストローク　：　350×350　mm
　　　平面度/平行度　：　2μm以内
　・使用分野
　　　半導体製造装置（ステッパー、ウエハー検査装置、など）
　　　精密測定機器（3次元測定器、など）
　　　産業用ロボットや小型精密工作機など

セラミック　X-Y　ステージ	セラミック　Z　ステージ

　
　

Motion Error 測定結果

　
　　
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